Szukana fraza: [Abstrakt = "W pracy opisano system detekcji elektronów wtórnych, przeznaczony do pracy w niskiej próżni. System zintegrowany jest z systemem próżniowym, tworząc wyposażenie dodatkowe dla standardowych SEM. Budowa systemu optymalizowana była za pomocą opracowanego specjalnie do tego celu programu wykorzystującego metodę Monte Carlo"]