@misc{Walczak_Rafał_Wspomagane_2004,
 author={Walczak, Rafał},
 contributor={Dziuban, Jan. Promotor},
 year={2004},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Politechnika Wrocławska},
 language={pol},
 type={rozprawa doktorska},
 title={Wspomagane mikrofalami, anizotropowe trawienie krzemu monokrystalicznego},
 keywords={trawienie krzemu, mikrofale, woda},
}