@misc{Gierałtowska_Sylwia_Properties_2013,
 author={Gierałtowska, Sylwia and Wachnicki, Łukasz and Witkowski, Bartłomiej S. and Godlewski, Marek and Guziewicz, Elżbieta},
 contributor={Urbańczyk, Wacław. Redakcja},
 identifier={DOI: 10.5277/oa130102},
 year={2013},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 43, 2013, nr 1, s. 17-25},
 language={eng},
 type={artykuł},
 title={Properties of thin films of high-k oxides grown by atomic layer deposition at low temperature for electronic applications},
 keywords={optyka, high-k oxides, composite layers, atomic layer deposition, transparent electronics, zinc oxide},
}