@misc{Sikora_Andrzej_The_2019, author={Sikora, Andrzej and Janus, Paweł and Sierakowski, Andrzej}, contributor={Urbańczyk, Wacław. Redakcja}, identifier={DOI: 10.5277/oa190116}, year={2019}, rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)}, publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej}, description={Optica Applicata, Vol. 49, 2019, nr 1, s. 177-185}, language={eng}, title={The impact of the light exposure on the morphological properties of selected photoresists}, type={artykuł}, keywords={optyka, photolitography, polymer degradation, atomic force microscopy (AFM)}, }