@misc{Dobrzański_Leszek_A._The_2015, author={Dobrzański, Leszek A. and Szindler, Marek and Szindler, Magdalena and Hajduk, Barbara and Kotowicz, Sonia}, contributor={Urbańczyk, Wacław. Redakcja}, identifier={DOI: 10.5277/oa150412}, year={2015}, rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)}, publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej}, description={Optica Applicata, Vol. 45, 2015, nr 4, s. 573-583}, language={eng}, title={The impact of atomic layer deposition technological parameters on optical properties and morphology of Al2O3 thin films}, type={artykuł}, keywords={optyka, thin film, aluminum oxide, atomic layer deposition}, }