@misc{Górecka-Drzazga_Anna_Plasma_2002,
 author={Górecka-Drzazga, Anna},
 contributor={Gaj, Miron. Redakcja and Wilk, Ireneusz. Redakcja},
 year={2002},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 32, 2002, nr 3, s. 339-346},
 language={eng},
 title={Plasma dry etching of monocrystalline silicon for the microsystem technology},
 type={artykuł},
 keywords={optyka},
}