@misc{Shamiryan_Denis_Evaluation_2003,
 author={Shamiryan, Denis and Baklanov, Mikhail R. and Yanovitskaya, Zoya S. and Zverev, Alexey V. and Tõkei, Zsolt and Iacopi, Francesca and Maex, Karen},
 contributor={Gaj, Miron. Redakcja and Wilk, Ireneusz. Redakcja},
 year={2003},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 33, 2003, nr 1, s. 91-96},
 language={eng},
 title={Evaluation of thin Ta(N) film integrity deposited on porous glasses},
 type={artykuł},
 keywords={optyka, porous glasses, low-k dielectric, diffusion barrier, ellipsometry},
}