Vacuum in microsystems – generation and measurement - Grzebyk, Tomasz; Stasiak, Paweł; Górecka-Drzazga, Anna (Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2011)
Optica Applicata, Vol. 41, 2011, Nr 2, s. 389-394
Keywords: optyka; vacuum MEMS; micropump; vacuum sensor; interference method