Tytuł:

The method of integration of silicon – micromachined sensors and actuators to microreactor made of Foturan® glass

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Autor:

Knapkiewicz, Paweł ; Walczak, Rafał ; Dziuban, Jan A.

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja

Temat i słowa kluczowe:

optyka ; microreaction technology ; sensors integration ; low temperature anodic bonding ; Foturan® glass and silicon anodic bonding

Opis:

Optica Applicata, Vol. 37, 2007, nr 1-2, s. 65-72

Abstrakt:

In this article results of unique low temperature anodic bonding silicon and Foturan® glass are presented. The new method of anodic bonding can be useful in designing and fabrication of intelligent microreactors equipped with microsensors and other microdevices suitable both to control and to steer chemical process. Direct assembling onto microreactors allows to think about integrated microreactors equipped with set of sensors, i.e., pressure sensors and other devices, i.e., valves, flow meters, etc. The demand for integration microreactor with measuring /steering setup, following the technology of low temperature anodic bonding and application of this technique are described.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2007

Typ zasobu:

artykuł

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 37, 2007 ; Optica Applicata, Vol. 37, 2007, nr1-2 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska