Title:

Detekcja sygnału i technika obrazowania w skaningowym mikroskopie elektronowym w zakresie niskiej próżni

Creator:

Krysztof, Michał

Contributor:

Słówko, Witold. Promotor

Subject and Keywords:

detekcja elektronów wtórnych ; metoda Monte Carlo ; skaningowa mikroskopia elektronowa

Description:

W pracy opisano system detekcji elektronów wtórnych, przeznaczony do pracy w niskiej próżni. System zintegrowany jest z systemem próżniowym, tworząc wyposażenie dodatkowe dla standardowych SEM. Budowa systemu optymalizowana była za pomocą opracowanego specjalnie do tego celu programu wykorzystującego metodę Monte Carlo

Publisher:

Politechnika Wrocławska

Place of publication:

Wrocław

Date:

2010

Resource Type:

rozprawa doktorska

Format:

application/pdf ; application/pdf

Source:

<sygn. PWr 348968L/1> ; click here to follow the link

Language:

pol

Relation:

Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Rights:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Access Rights:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Location:

Własność autora