Title:

Vacuum in microsystems – generation and measurement

Group publication title:

Optica Applicata

Creator:

Grzebyk, Tomasz ; Stasiak, Paweł ; Górecka-Drzazga, Anna

Contributor:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Subject and Keywords:

optyka ; vacuum MEMS ; micropump ; vacuum sensor ; interference method

Description:

Optica Applicata, Vol. 41, 2011, Nr 2, s. 389-394

Publisher:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Place of publication:

Wrocław

Date:

2011

Resource Type:

artykuł

Format:

application/pdf

Source:

<sygn. PWr A3481II> ; click here to follow the link ; click here to follow the link

Language:

eng

Relation:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 41, 2011 ; Optica Applicata, Vol. 41, 2011, Nr 2 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Rights:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Access Rights:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Location:

Politechnika Wrocławska