Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Elektryczne metody pomiarów wychyleń układów MEMS i NEMS
Pobierz

Tytuł: Elektryczne metody pomiarów wychyleń układów MEMS i NEMS

Tytuł odmienny:

Electrical methods for MEMS and NEMS deflection measurements

Autor:

Kwoka, Krzysztof

Współtwórca:

Piasecki, Tomasz. Promotor

Abstrakt:

Pomiary wychyleń struktur NEMS wykonywać można z zastosowaniem między innymi wibrometrii laserowej lub elektronowej, a także z wykorzystaniem pomiarów elektrycznych. Zastosowanie technik wibrometrii wiąże się jednak z trudnościami wynikającymi z używanych urządzeń pomiarowych. Wykorzystanie technik elektrycznych pozwala na wykorzystanie drgających struktur NEMS w znacznie elastyczniejszy sposób.W przedstawionej rozprawie zastosowano elektryczne pomiary fazoczułe do badania struktur o piezorezystywnej detekcji ugięcia w połączeniu z wibrometrią laserową do pomiaru przy pobudzeniu piezoelektrycznym. Wykazano, że istnieje możliwość wykonywania równoległych pomiarów tymi technikami przy odpowiedniej synchronizacji wykorzystanych urządzeń. Dla wykorzystanych struktur uzyskano czułość na siłę na poziomie FS=263 V|N co jest wartością nieporównywalnie większą niż dla analogicznych rozwiązań z literatury. Wykazano również możliwość kompensacji błędów pomiarowych wynikających z przesłuchów elektrycznych co pozwala na dokładniejsze dopasowywanie wyników. Wykonano również analogiczne badania w połączeniu z wibrometrią elektronową do pomiaru przy jednoczesnym pobudzeniu magnetoelektrycznym i ciśnieniem promieniowania laserowego. Zaprezentowano wyniki pomiarów podczas niezależnego i jednoczesnego pobudzania struktury oboma metodami. Wykorzystano również odczyt piezorezystywny do weryfikacji wyrównania sił pobudzających strukturę. Podczas pomiarów wykazano także możliwość rejestrowania w układzie odpowiedzi czysto piezorezystywnej. Zastosowano również pomiary z wykorzystaniem spektroskopii impedancyjnej do pomiaru struktur o pobudzeniu i odczycie magnetoelektrycznym oraz elektrostatycznym. Przygotowano elektryczne modele równoważne do obu eksperymentów i skorelowano je z modelami fizycznymi drgających struktur NEMS. Podczas pomiarów magnetoelektrycznych wykorzystano obliczoną z geometrii i paramentów materiałowych masę struktury do weryfikacji modelu i wykazano jego poprawność. W przypadku struktur elektrostatycznych stworzony model wskazywał na bardzo silny wpływ odległości między elektrodami na stosunek odpowiedzi elektrycznej do sygnału pobudzającego. Pomiary struktur elektrostatycznych przeprowadzono więc w komorze mikroskopu elektronowego co pozwoliło na precyzyjną kontrolę odległości między elektrodami, którą wykorzystano jako parametr weryfikujący poprawność modelu.

Wydawca:

Politechnika Wrocławska

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2023

Typ zasobu:

rozprawa doktorska

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:125488

Język:

pol

Powiązania:

Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki, Fotoniki i Mikosystemów

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Właściciel praw:

Własność autora

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Temat i słowa kluczowe:

MEMS NEMS spektroskopia impedancyjna pomiary elektryczne LIS wychylenia rezonans

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

10 sty 2024

Data dodania obiektu:

10 sty 2024

Liczba wyświetleń treści obiektu:

115

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/164135

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Elektryczne metody pomiarów wychyleń układów MEMS i NEMS 10 sty 2024

Podobne

Czujniki impedancyjne w pomiarach warstw mikrobiologicznych

Chabowski, Konrad Andrzej Nitsch, Karol. Promotor

2017
rozprawa doktorska
Generacja - Przesył - Wykorzystanie
Generacja - Przesył - Wykorzystanie

Generacja - Przesył - Wykorzystanie. GPW 2016

Gwoździewicz, Maciej. Redakcja

2016
książka
Generacja - Przesył - Wykorzystanie
Generacja - Przesył - Wykorzystanie

Generacja - Przesył - Wykorzystanie. GPW 2015

Gwoździewicz, Maciej. Redakcja

2015
książka
Generacja - Przesył - Wykorzystanie
Generacja - Przesył - Wykorzystanie

Generacja - Przesył - Wykorzystanie. GPW 2014

Gwoździewicz, Maciej. Redakcja

2014
książka
Generacja - Przesył - Wykorzystanie
Generacja - Przesył - Wykorzystanie

Generacja - Przesył - Wykorzystanie. GPW 2017

Gwoździewicz, Maciej. Redakcja

2017
książka

Ocena metod pozyskiwania danych geometrycznych dla potrzeb wczesnego ostrzegania przed zagrożeniami osuwiskowymi

Ćmielewski, Bartłomiej Kontny, Bernard. Promotor

2019
rozprawa doktorska
Optica Applicata
Optica Applicata

Vacuum in microsystems – generation and measurement

Grzebyk, Tomasz Stasiak, Paweł Górecka-Drzazga, Anna Gaj, Miron. Redakcja Urbańczyk, Wacław. Redakcja

2011
artykuł
Zeszyty Naukowe Collegium Witelona
Zeszyty Naukowe Collegium Witelona

Zastosowanie liczników energii elektrycznej w procesach przemysłowych

Wnukowska, Bogumiła Budka, Jan. Redakcja

2023
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Politechnika Wrocławska (Koordynator Konsorcjum DBC)
Biblioteka Politechniki Wrocławskiej
Wybrzeże Wyspiańskiego 27
50-370 Wrocław, Polska

Telefon

(+48) 71-320-38-30
(+48) 71-320-47-50

E-Mail

bc@pwr.edu.pl

Odwiedź nas!

https://biblioteka.pwr.edu.pl/

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji