Obiekt

Tytuł: Processing microstructure on film by femtosecond laser

Autor:

Yuan, Dong-Qing ; Zhou, Ming ; Cai, Lan ; Xu, Jian-Ting

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 3, s. 629-635

Abstrakt:

Selective laser patterning of thin films in a multilayer film is an emerging technology for fabrication of MEMS devices. A 775 nm Ti:sapphire laser (130 fs, 1 kHZ) was used to irradiate the thin film stacks with variations in process parameters such as feed rate and numerical aperture of objective lens. Femtosecond laser patterning of Au/Cr films which have the same thickness of about 1000 nm and are coated on glass substrate has been investiged to determine optimal parameters of the patterning process. Through a SEM and an AFM, we investigate the morphology of pattern, including the linewidth, groove depth and the laser-induced periodic surface structures (LIPSSs). The depth of the ablated groove was observed to depend on the scanning speed. And from the energy spectrum we find out which layer has been removed completely. The experimental results show that precise micromachining with desired stability and reproducibility can be achieved by controlling the ablation energy and the feed rate using appropriate numerical aperture (NA).

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:59309

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 3 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

8 lut 2019

Data dodania obiektu:

8 lut 2019

Liczba wyświetleń treści obiektu:

33

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/100735

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Podobne

×

Cytowanie

Styl cytowania:

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji