Obiekt

Tytuł: The application of the self-adaptive tracking method to the sinusoidal phase modulating interferometry

Autor:

He, Guotian ; Lu, Yuangang ; Liao, Changrong ; Zeng, Zhi

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 1, s. 109-122

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:58738

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 1 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Abstrakt:

In this paper, we analyze theoretically the accuracy of the surface profile measurement in a sinusoidal phase modulating interferometer, derive the relative error formula, and investigate the influence of spectral leakage on the measurement accuracy. The theoretical results show that when the offset of sampling frequency from its theoretical ideal is outside the range of – 0.188% to +0.075%, the spectrum leakage results in an relative error greater than λ/320 nm, and thus the spectral leakage is not negligible. In order to eliminate the influence of the spectral leakage, a self-adaptive tracking method is proposed. The tracking method can adjust automatically the sampling signal frequency in such a way that the sampling signal frequency is an integer multiple of the modulating signal frequency. The simulation and experimental results show that the problem of the spectrum leakage can be solved with the proposed technique, and therefore the measurement accuracy and reliability of the SPM interferometer are enhanced.

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

2019-02-01

Data dodania obiektu:

2019-02-01

Liczba wyświetleń treści obiektu:

3

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/98770

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Obiekty

Podobne

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji