Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Sinusoidal phase modulating interferometer for real-time surface profile measurement
Pobierz

Tytuł: Sinusoidal phase modulating interferometer for real-time surface profile measurement

Autor:

Guotian, He ; Helun, Jiang ; Xingwen, Tan

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 38, 2008, nr 2, s. 413-420

Abstrakt:

The optical interferometry for the surface profile measurement is high accuracy, non-contact, and has a wide application in industry and scientific research. In this paper, a sinusoidal phase modulating (SPM) interferometer to realize real-time surface profile measurement is proposed, and its measuring principle is analyzed theoretically. In the SPM interferometer, the interference signal is detected by a high speed image sensor based on a low-speed CCD and a signal processing circuit is used to obtain the phase of each point on the surface. Therefore, the surface profile can be measured real time. The experiments measuring the surface profile of a wedge-shaped optical flat show that the measurement time of the SPM interferometer is less than 10 ms, the repetitive measurement accuracy is 5.2 nm. The experimental results confirm the validity of the SPM interferometer, and the merits of the interferometer is simple structure, high measurement accuracy.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2008

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:62881

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 38, 2008 ; Optica Applicata, Vol. 38, 2008, nr 2 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Temat i słowa kluczowe:

optyka real-time measurement surface profile SPM interferometer

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

22 mar 2019

Data dodania obiektu:

22 mar 2019

Liczba wyświetleń treści obiektu:

198

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/114247

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Sinusoidal phase modulating interferometer for real-time surface profile measurement 22 mar 2019

Obiekty Podobne

Optica Applicata
Optica Applicata
The application of the self-adaptive tracking method to the sinusoidal phase modulating interferometry

He, Guotian Lu, Yuangang Liao, Changrong Zeng, Zhi Gaj, Miron. Redakcja Urbańczyk, Wacław. Redakcja

2009
artykuł
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Adsorption of hexane and cyclohexane vapours at the water drop surface

Miller, Reinhard Aksenenko, Eugene V. Kovalchuk, Volodymir I. Tarasevich, Yuri I. Fainerman, Valentin B. Drzymała, Jan. Redakcja

2018
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
Third order aberrations of the electron deflecting-focusing system

Romanowski, Andrzej Gaj, Miron. Redakcja

1977
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
Optical properties of epitaxial aluminium films

Dobierzewska-Mozrzymas, Ewa Gaj, Miron. Redakcja

1977
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
Optical properties of the thin ytterbium oxide films

Marcinów, Tadeusz Wesołowska, Cecylia Wiktorczyk, Tadeusz Gaj, Miron. Redakcja

1977
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
Diffraction images in the presence of bright incoherent disks of linear image motion

Rattan, R. Gupta, A. K. Singh, K. Gaj, Miron. Redakcja

1977
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
A new versatile He-Ne laser for optical adjustments

Kaczmarek, Franciszek Mietlarek, Andrzej Gaj, Miron. Redakcja

1977
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
Mode-locking in a two-component, tuned dyelaser

Bissinger, Janusz Raczyński, Krzysztof Gaj, Miron. Redakcja

1977
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Politechnika Wrocławska (Koordynator Konsorcjum DBC)
Biblioteka Politechniki Wrocławskiej
Wybrzeże Wyspiańskiego 27
50-370 Wrocław, Polska

Telefon

(+48) 71-320-38-30
(+48) 71-320-47-50

E-Mail

bc@pwr.edu.pl

Odwiedź nas!

https://biblioteka.pwr.edu.pl/

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji