Obiekt

Tytuł: Sinusoidal phase modulating interferometer for real-time surface profile measurement

Autor:

Guotian, He ; Helun, Jiang ; Xingwen, Tan

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 38, 2008, nr 2, s. 413-420

Abstrakt:

The optical interferometry for the surface profile measurement is high accuracy, non-contact, and has a wide application in industry and scientific research. In this paper, a sinusoidal phase modulating (SPM) interferometer to realize real-time surface profile measurement is proposed, and its measuring principle is analyzed theoretically. In the SPM interferometer, the interference signal is detected by a high speed image sensor based on a low-speed CCD and a signal processing circuit is used to obtain the phase of each point on the surface. Therefore, the surface profile can be measured real time. The experiments measuring the surface profile of a wedge-shaped optical flat show that the measurement time of the SPM interferometer is less than 10 ms, the repetitive measurement accuracy is 5.2 nm. The experimental results confirm the validity of the SPM interferometer, and the merits of the interferometer is simple structure, high measurement accuracy.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2008

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:62881

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 38, 2008 ; Optica Applicata, Vol. 38, 2008, nr 2 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

22 mar 2019

Data dodania obiektu:

22 mar 2019

Liczba wyświetleń treści obiektu:

104

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/114247

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Podobne

×

Cytowanie

Styl cytowania:

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji