Obiekt

Tytuł: New method of MOVPE process design for the growth of FGM AlGaAs/GaAs photodetectors

Autor:

Wośko, Mateusz ; Paszkiewicz, Bogdan ; Radziewicz, Damian ; Ściana, Beata ; Paszkiewicz, Regina ; Tłaczała, Marek ; Kovac, Jaroslav ; Vincze, Andrej

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4, s. 739-747

Abstrakt:

In this paper, the authors present a new attempt to the growth of AlGaAs structures with continuous change of aluminum content by metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE) technique. The new method of design of multistage growth process for functionally graded semiconductor materials (FGM) has been proposed. A comparison between classical single stage and multistage growth process has been carried out. The analysis of PVS, ECV and SIMS results of fabricated photodetector structures shows significant differences in composition profile of theoretically estimated and fabricated structures, and prove that the new conception of multistage process has more advantages over classical single stage procedure.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:62181

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

2019-03-12

Data dodania obiektu:

2019-03-12

Liczba wyświetleń treści obiektu:

6

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/110837

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Podobne

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji