Obiekt

Tytuł: Methods of silicon surface structurization for the purpose of the deposition of III-V epitaxial layers

Autor:

Zubel, Irena ; Kramkowska, Małgorzata ; Ninierza, Tomasz

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4, s. 749-759

Abstrakt:

This paper presents the results of the texturing of silicon substrates with various crystallographic orientations by anisotropic etching, both in a maskless process and in a process employing specially shaped mask patterns. Several etching solutions based on KOH and KOH with isopropanol, enabling a uniform texturing of silicon substrates with selected orientations in maskless process, were tested in order to find an optimal composition. We proposed a texturing process with the use of an appropriate oxide mask, which allowed the analysis of the epitaxy process in terms of orientation and inclination of sidewalls and edges of resultant structures. The structured substrate can be used for the investigation of growth of GaN epitxial layers on silicon substrates.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:62182

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

12 mar 2019

Data dodania obiektu:

12 mar 2019

Liczba wyświetleń treści obiektu:

39

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl/publication/110838

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Podobne

×

Cytowanie

Styl cytowania:

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji